高純度ガス製造

触媒タイプ：ガス精製触媒

エヌ・イー ケムキャットは、創立以来各種のガス精製触媒を製造販売しております。

ガス精製触媒はガス中の不純物ガスの除去反応に対して極めて高い活性があり、触媒のライフが非常に長いという特徴があリます。

近年、電子工業・化学工業・鉄鋼業・機械工業等多くの分野において、超高純度ガスのニーズが高まり、製造工程中で使用されるガス中の微量不純物ガスの含有が大きな問題となるケースが増大しております。

例えば、半導体製造時に使用されるN₂、Ar等は、6N～8Nの高純度が必要とされ、それらのガス中に含まれる極微量のCO、O₂、H₂等を数ppbまで除去しなければなりません。

これらの目的に応じた触媒を用意し、ご要望にお応えしております。

触媒の特徴

1. 超高純度のガスが製造できます。
2. 低温活性に優れているので、ランニングコスト、加熱設備装置の材質等の面で大変有利です。
3. 化学反応によるガス精製のため、メンテナンスフリーで長期間使用できます。
4. 性能低下した触媒は、当社の技術で再生処理することにより、劣化原因によっては、再使用することができます。
5. 使用済み触媒に含まれる貴金属は、回収精製により再利用可能です。

触媒の種類

• ※この他にも、用途やご使用条件により種々の触媒を準備しております。

適用例

• ※当社では劣化原因及び使用条件に応じた前処理剤を準備しております。